Boron11 Трихлорид напівпровідниковий напівпровідник сухого травлення
Введення продукту
При нормальній температурі та тиску борона трихлориду (BCL 3 ) - це безбарвний димний газ, який є легкозаймистим, гострим, кислим запахом. Трихлорид бору розкладається на соляну кислоту та борну кислоту і вивільняє багато тепла, що зустрічається з водою, він генерує дим у вологому повітрі через гідроліз, а BCL 3 розкладається в соляну кислоту та ефір борної кислоти в спирті. Трихлорид бору має сильну здатність до реакції і може утворювати різноманітні координаційні сполуки. Трихлорид бору може реагувати зі склом і керамікою при нагріванні, а також реагує з багатьма органічними сполуками, утворюючи різноманітні сполуки органоборону. Трихлорид високої чистоти111 використовується в основному для дифузійного допінгу у виробничому процесі (кремнієвих) напівпровідникових пристроїв. Домішки бору генеруються шляхом розкладання BCL 3 і дифузні до кремнію з утворенням напівпровідника типу P при високій температурі. BCL 3 також можна використовувати для сухого травлення AL, MOSI 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI та інших матеріалів.
Специфікація якості
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Застосування
Трихлорид бору може бути використаний для виготовлення високого чистого бору, каталізатора органічного синтезу, потоку для розкладання силікату, а також використовується як добавка дезоксидізатора, нітридів та карбідів у рафінуванні сплаву. Трихлорид високого чистого Boron11 в основному використовується в дифузійному допінгу, іонній імплантації, сухому травленні та інших процесах напівпровідникових пристроїв та виробництві інтегрованих ланцюгів.
Упаковка та зберігання
Трихлорид Boron11 заповнюється в циліндрі. Циліндр, наповнений трихлоридом Boron11, відповідає відповідним положенням GB14193. Технічні характеристики упаковки включають 10 л і 47 л. Продукт зберігається в тінистій, сухої та вентильованій коморі нижче 60 ℃ . Забороняється піддавати сонця і триматися подалі від джерел тепла. Пакет повинен бути запечатаний, і він повинен бути окремо зберігатися з лужними та іншими небезпечними статтями.
Contact Now
